- [±ä±Þ]ÆÄÁÖ Á¦Ç°Ã¢°í °á·Î ÇØ°áÀ» À§ÇÑ Á¦½À±â ¼³Ä¡ °ø»ç-ÀϹݰø»ç(±â°è)
- LGD ÆÄÁÖ µå¸²ÆÄÅ© °ü¸®µ¿ Àü±â ¿Â¼ö±â ³ëÈÄÈ¿¡ µû¸¥ ±³Ã¼ °ø»ç-ÀϹݰø»ç(±â°è)
- [´Ü°¡°è¾à]AP2 LTPS TFT1ÆÀ ½Å±Ô ¼¼¾È¼³ºñ UT Hook-up (3´ë)
- [´Ü°¡°è¾à]P8 ¼¼¾È¼³ºñ ¹× ºñ»ó»þ¿ö±â UT Hook-up(2´ë)
- [´Ü°¡°è¾à]P8 CR1F Àç·áÁ¶ÇÕ½Ç Ò® Wet-Station ¹è±â À̼³ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]ÆÄÁÖ°øÀå UT ¹è°ü End Cap ¹Ì¼³Ä¡ °³¼Ò Á¶Ä¡ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]P2 Closing ´ëÀÀ Áß¾Óµ¿ ºÐ¼®½Ç DI ¹è°ü Route º¯°æ ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]M3 1F Sampling °Ë»ç±â À̼³ °ø»ç
- [´Ü°¡°è¾à]M3 3F PO Pilot Line MCL µÎ²²ÃøÁ¤±â M4 2F À̼³ °ø»ç
- [´Ü°¡°è¾à]P81 CR4F FPHT06 & 13È£±â Slitmura °Ë»ç±â ¼³Ä¡´ëÀÀ A/F Ÿ°øÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]M4 2F PO M Ç°Áú°ü¸®¹Ý ÀÎÀå·Â ÃøÁ¤±â CDA Hook up
- [´Ü°¡°è¾à]AP2 DI¹è°ü »ùÇøµ Valve ¼³Ä¡ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]P8 CR1F(Hx8) CW ¹è°ü Leak Á¶Ä¡ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]P83 PHT05 Aligner Main Chamber °øÁ¶±â ±³Ã¼ ÀÛ¾÷
- [´Ü°¡°è¾à]P8 CR4F(Hx7) TSPT0302 HDC DI ¹è°ü Leak Á¶Ä¡ÀÛ¾÷