- P83 진공,검사 Zone 과 CR 포토 Zone 격리 ACP Door설치

 

- P81 WED#2,#3,#4 ACP설치

 

- P82 TCVD#10 TSSL A/K 설치 CDA 공급 Hook Up

 

- AP2 TFT Line ACP Door 경첩교체

 

- P81 向 PAC S-PTN 검사기 Set-Up 위한 UT Hook-Up 요청

 

- AP2E2 열처리Chamber 이설위한 ACP철거 및 재설치